XD-MA150 全自動晶圓光刻機(jī)
平行曝光機(jī)的主要特點(diǎn) 這個類型的設(shè)備只有一個燈管,曝光臺面也是分有上下方兩個鏡子,使用的是光線折射的原理。當(dāng)兩個面同時進(jìn)行曝光的時候,上下燈的曝光是分開的。上等先進(jìn)...
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